多晶加热器

热场一般包括压环（石墨材料）、保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓，且为了防止漏硅，炉底、金属电极、托杆，都设置了保护板、保护套。热场的组成部分如加热器、三瓣埚、石墨托、热屏等均由石墨加工而成。